【最新话题】TCTA006: 面板厂黄光区異味处理概观介绍

在面板产业裡,由于产品面积大,同时涂布光阻的设备又多为半开放式,因此,在黄光区往往有着 刺鼻的異味,往往是被认为正常的事。本文介绍,当想就这些異味进行处理时,提供一个可行的思维方 向,以供业界參考。

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【洁净话题】TCTA ISSUE 3:空气过濾器测试方法及一般通风用空气过濾器能效分级之简要回顾

摘要

空气过濾器广泛应用于通风、空调及工业应用,不同的空气品质需求须采用不同等级的过濾器,本文列举国际间常用的规范,如美国的ASHRAE 52.1、ASHRAE 52.2、IEST-RP,欧洲的EN779 :2012、 EN1882:2009 等,且针对欧洲规范进行简介說明。

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【洁净话题】TCTA ISSUE 1 :半导体厂晶圆先进制程之关键技术-晶圆盒开门时的湿度控制

过去的十五年里前开门晶圆盒系统(FOUP(Front Opening Unified Pod)/LPU(Load-port Unit))已被多数十二吋半导体厂所采用且已被证明其可提供一无(或非常少)粒子污染之环境,唯其未能提供无(或非常少)
水,氧或气态分子之制造环境。然而晶圆在晶圆传送盒门开启后,于微环境内待转入制程的腔体内过程中亦非常容易受到污染。

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