在面板产业裡,由于产品面积大,同时涂布光阻的设备又多为半开放式,因此,在黄光区往往有着 刺鼻的異味,往往是被认为正常的事。本文介绍,当想就这些異味进行处理时,提供一个可行的思维方 向,以供业界參考。
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