2015中华洁净技术协会杰出讲座

2015中华洁净技术协会杰出讲座

(2015 Taiwan Cleaning Technology Association Distinguished Lecturer)

主办 中华洁净技术协会台北科技大学洁净技术研发中心
协办 台大高科技厂房设施研究中心
费用 中华洁净技术协会及SEMI Taiwan高科技厂房设施委员会会员免费,余酌收300 NTD。欢迎现场加入中华洁净技术协会。
地点 台大竹北分部2楼206会议室新竹县竹北市庄敬一路88号(台大竹北分部 碧祯馆)TEL:03-668-1274
日期 2015/4/8 (星期三) 13:30~16:00含中场休息
主講人及讲题 主讲人: Dr. Guillaume Gallet.Dr. Gallet is Global Product Manager for AMC filtration products at Camfil. He has a Ph.D. in Polymer Technology from the Royal Institute of Technology in Stockholm, Sweden.讲题:

Differences between laboratory and in situ tests of AMC filters.

摘要:

机载的分子污染 (AMC) 过滤已成为现代微电子制造标准功能。预测寿命的过滤系统是确保正确的污染水平内洁净室,以及适当的预算和足够带通滤波器设计的关键。然而产品规格和数据表往往缺乏预期的原位性能有关的信息。

此演示文稿将调查障碍过滤公司正面临估计原位生存期和现行的测试标准与微电子设施中观察到低浓度的相关性。

主持人

台北科技大学 胡石政教授

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