【最新話題】TCTA014：能效全氟化合物電熱水洗式局部尾氣處理系統開發

本文介紹廠內節能電熱水洗式局部尾氣處理設備，利用高溫750℃加熱裂解化學氣相沉積、乾蝕刻製程所產生的氣體，再以水洗方式吸收受高溫裂解的廢氣，經水霧吸收、洗滌及降低溫度後以廢氣管收集導入廠務系統的中央洗滌塔，再經廠務的濕式洗滌塔處理後排放到大氣中，藉以達到節能減碳的效果。

(閱覽全文請先訂閱電子期刊)

親愛的夥伴們~電子期刊第14期已經寄發囉！

未於發刊日完成訂閱者，將於訂閱後3-5天寄發至您個人信箱。

★如未收到期刊，請來信至：tcta.info@gmail.com，我們將盡速為您處理，謝謝！